【三首产品馆】第一百四十六期——安徽京仪自动化装备技术有限公司的气体回收处理装置Local Scrubber

阅读次数：次 编辑：吴玉萍来源：芜湖市工业和信息化局 发布时间：2025-01-21 19:19
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企业情况

       

安徽京仪自动化装备技术有限公司（简称安徽京仪）隶属于北京京仪自动化装备技术有限公司（简称京仪装备），公司成立于2017年10月，注册资本1000万元人民币。位于安徽省芜湖市，区域地理条件优越，境内产业基础良好。安徽京仪拥有27300平米生产厂房，包括近6000平米的恒温调试车间，具备先进的生产设备和厂务系统，并配套研发中试平台。总部北京京仪装备是一家集研发、生产和销售为一体的高端装备制造企业。主要产品包括半导体温控装置系列（Chiller）、半导体废气处理装置系列（Local Scrubber）等专用设备，现已广泛应用于半导体、LED、LCD等领域。公司产品主供国内诸如中芯国际、长江存储、华虹集团、合肥长鑫等一批顶尖集成电路制造龙头企业集群，并于2023年11月29日在上海证券交易所科创版正式挂牌上市。
安徽京仪秉承总部优良传统，初步导入半导体温控装置系列（Chiller）和半导体废气处理装置系列（Local Scrubber）两大系列主打产品，持续优化升级先进生产工艺和管理理念，强力支撑京仪装备着力发展半导体高端装备，不断巩固和发展高科技产业的战略地位和竞争优势，矢志成为行业领导地位的中国半导体附属设备领军企业。
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产品介绍
 产品名称：气体回收处理装置Local Scrubber
 联系人： 王德祥   13855333919


应用场景
  

     气体回收处理装置（Local Scrubber）用于工艺过程中副产物气体的无害化处理，广泛应用于半导体制造、液晶面板制造、LED、太阳能等相关行业。这些行业生产原物料中，含有多种易燃易爆、有毒有害等气体，对环境或人体皆具有一定的危害性。


   

功能描述
     
   
      
本设备通过废气燃烧处理装置，通过设置除尘箱和装置箱，过滤气体并进行酸碱中和，通过设置燃烧箱，使
气体充分燃烧，分解物可溶于水，减少副产物粉尘堵塞管路或腔体。


代表参数
         

   

1、PFC气体处理效率：CF4>95%；
2、其他气体处理效率：HCL>99%; SIH4>99%; H2>99%；
3、燃烧腔温度：≥1200℃；
4、水洗系统温度：35-50℃
5、设备漏率：<7.5*10-5mbar*l/s
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